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深圳高卓斯科技有限公司

SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.

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高剛性研磨機：HRG300/HRG300A
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高剛性研磨機：HRG300/HRG300A

HRG300 既可以對大尺寸晶圓（300 ｍｍ）進行單 枚加工，也可以對小直徑工件進行多枚同時加工。

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商品描述

HRG300 既可以對大尺寸晶圓（300 ｍｍ）進行單 枚加工，也可以對小直徑工件進行多枚同時加工。

特征


規格

NO.項目HRG300
高剛性研磨機
1外形尺寸和重量尺寸：1540（W）X1880（D）X2010（H）重量：3700kg
2最大加工直徑（mm）300
3磨輪直徑（mm）300
4磨輪轉速（rpm）3600
5工作臺轉速（rpm）400
6主軸功率（Kw）11
7工作臺功率（Kw）2
8全自動監測實時測量治具（支持多片同時加工）
9研磨精度（μｍ）0.1


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