尺寸 | W1300 x D1400 x H1350(毫米) | |
---|---|---|
重量 | 約 400 公斤 | |
驅動空氣 | 0.4Mpa以上 | |
紫外線照度 | 200mW/cm2以上 | |
氮氣 | 0.2Mpa以上 100L/min以上 | |
電源供應 | 交流三相 200V 50 / 60Hz 100A |
* 尺寸為 8 英寸型規格。
高壓汞/金屬鹵化物規格全自動紫外線照射裝置是使用具有強輻射能量的燈的紫外線固化裝置。
加載工作后,按下啟動按鈕,將工作從雜志中取出,照射紫外線,并全自動存儲,直到完成雜志中的所有工作。
可以根據目標工作選擇高壓汞燈/金屬鹵化物燈。
緊湊的機身
可設置10個配方(速度可根據設置進行更改)
可在觸摸屏上設置4種電源
顯示累計照射量和紫外線照射強度(僅照射期間)
可根據照射目標選擇高壓汞燈/金屬鹵化物燈
配備自動切換設置功能,可自動切換到不同尺寸
不僅可以照射切割框,還可以照射夾持環。
具有可以區分紫外線照射的完成和不完全的功能
可用于LSI晶圓、存儲器晶圓、LED晶圓、激光晶圓、傳感器晶圓、功率器件晶圓等各種工藝。
尺寸 | W1300 x D1400 x H1350(毫米) | |
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重量 | 約 400 公斤 | |
驅動空氣 | 0.4Mpa以上 | |
紫外線照度 | 200mW/cm2以上 | |
氮氣 | 0.2Mpa以上 100L/min以上 | |
電源供應 | 交流三相 200V 50 / 60Hz 100A |
* 尺寸為 8 英寸型規格。