| 模型 | 6寸型  你也可以選擇象牙色 | 8寸型  你也可以選擇黑色 |
|---|---|---|
| 對應晶圓尺寸 | 2-6英寸 | 2-8英寸 |
| 設備尺寸 | W423 × D839 × H780 (mm) | W513 × D903 × H880 (mm) |
| 車身外觀 | 正面/側面：SUS304 背面：PVC | |
| 轉子材料 | SUS304電解拋光處理 | |
| 軸封 | 油封與強制吸風組合使用 | |
| 離子發生器 | 標準設備 | |
| 空氣過濾器 | ULPA / HEPA 可選 | |
| 旋轉速度 | 最高轉速：3,000min-1 | 最高轉速：2,500min-1 |
| 發動機 | 三相感應電機，內置籃式 | |
| 計時器 | 1 至 8 速（0 至 999 秒?？稍O置 8 級） | |
| 安全機制 | 帶前蓋關閉傳感器 帶轉子旋轉中門鎖機構 | |
深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
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商品描述
旋轉式單盒式旋轉干燥機是一款臺式旋轉干燥機，非常適合小批量生產和研發。
最大晶圓尺寸：8英寸
腳踏開關
專為 8 英寸 t = 2 毫米晶圓而設計。工作繁重，即使雙手合上也能打開和關閉門。
不同尺寸的附件
無需麻煩的轉子更換！只需插入專用附件即可支持不同尺寸的工作。
兩段式
節省空間的兩級單脫水機
其他
我們也有支持方板的記錄。我們還接受有關其他特殊工件干燥的咨詢。
規格
| 電源供應 | 三相 AC200V ± 10% 50 / 60Hz（接線端子） | |
|---|---|---|
| 驅動空氣 | 清潔干燥的空氣 | |
| 壓力：0.5MPa以上 | ||
| 耗氣量：250L/min（ANR） | ||
| 排氣口 | VP50A 1 個位置（來自腔室） | |
| (排量800L/min~1000L/min) | ||
| 流走 | VP25A 1 個位置（來自腔室） | |
