尺寸 | W2200 x D1500 x H1800 (mm) | |
---|---|---|
應用 | BG膠帶等帶保護膜的晶圓 | |
耗時 | 120秒/張 | |
壓縮空氣 | 0.4MPa以上、150L/min(ANR)以上 | |
真空源 | 工廠真空與真空發生器組合使用 | |
電源供應 | 三相200V 30A |
全自動膠帶去除器是一種將附著在晶圓上的保護膜剝離的設備。
由盒子供給的晶圓由對準器定位,剝離膠帶后,排出到同一個盒子中。
通過采用獨特的剝離機制,晶圓上的應力最小化,可以處理薄晶圓。它還支持非接觸式剝離作為選項。
對齊功能
剝離前,在校準臺上進行定向平面槽口的角度校準和居中。剝離角度可任意設定。
膠帶剝離速度、輸送速度等可在觸摸屏上進行設置。可根據工作進行調整。
靜電對策
標配離子發生器。
傳感器檢測剝離膠帶的剩余量。當剩余量達到 5m(可更改設置)時,將發出警報通知您。消除不必要的設備中斷。
尺寸 | W2200 x D1500 x H1800 (mm) | |
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應用 | BG膠帶等帶保護膜的晶圓 | |
耗時 | 120秒/張 | |
壓縮空氣 | 0.4MPa以上、150L/min(ANR)以上 | |
真空源 | 工廠真空與真空發生器組合使用 | |
電源供應 | 三相200V 30A |