全自動(dòng)BG膠帶貼合機(jī)是一種自動(dòng)設(shè)備,可以在施加背面研磨膠帶后切割外周,以達(dá)到表面保護(hù)的目的,同時(shí)控制張力。采用獨(dú)特的滾輪結(jié)構(gòu)進(jìn)行粘貼。
它可以在幾乎沒(méi)有張力的情況下貼附在膠帶上,并有效減少背面研磨后薄晶圓的翹曲。
特征
配備FOUP/FOSB上料裝置,支持300mm和200mm晶圓生產(chǎn)線。
采用自研發(fā)的大滾軸,實(shí)現(xiàn)了低張力的粘接。
減少回磨后的翹曲/損壞問(wèn)題。
無(wú)需從晶圓外圍伸出,減少BG的麻煩
它對(duì)過(guò)程自動(dòng)化和質(zhì)量控制非常有用
它對(duì)應(yīng)的是WL-CSP工藝中必不可少的高凸點(diǎn)帶。
研磨后翹曲實(shí)驗(yàn)叁考數(shù)據(jù)