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深圳高卓斯科技有限公司

SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.

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OTL系列
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OTL系列

全自動(dòng)BG膠帶貼合機(jī)是一種自動(dòng)設(shè)備,可以在施加背面研磨膠帶后切割外周,以達(dá)到表面保護(hù)的目的,同時(shí)控制張力。采用獨(dú)特的滾輪結(jié)構(gòu)進(jìn)行粘貼。

它可以在幾乎沒(méi)有張力的情況下貼附在膠帶上,并有效減少背面研磨后薄晶圓的翹曲。


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商品描述

全自動(dòng)BG膠帶貼合機(jī)是一種自動(dòng)設(shè)備,可以在施加背面研磨膠帶后切割外周,以達(dá)到表面保護(hù)的目的,同時(shí)控制張力。采用獨(dú)特的滾輪結(jié)構(gòu)進(jìn)行粘貼。

它可以在幾乎沒(méi)有張力的情況下貼附在膠帶上,并有效減少背面研磨后薄晶圓的翹曲。



特征


兼容200/300mm晶圓貼膜

配備FOUP/FOSB上料裝置,支持300mm和200mm晶圓生產(chǎn)線。


低張力粘貼

采用自研發(fā)的大滾軸,實(shí)現(xiàn)了低張力的粘接。

減少回磨后的翹曲/損壞問(wèn)題。


高精度圓周切割

無(wú)需從晶圓外圍伸出,減少BG的麻煩


兼容SECS通信(選配)

它對(duì)過(guò)程自動(dòng)化和質(zhì)量控制非常有用


支持高凸點(diǎn)膠帶

它對(duì)應(yīng)的是WL-CSP工藝中必不可少的高凸點(diǎn)帶。


研磨后翹曲實(shí)驗(yàn)叁考數(shù)據(jù)




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