尺寸 | W770 x D1090 x H1200(毫米) | |
---|---|---|
重量 | 約 250 公斤 | |
驅動空氣 | 0.4~0.5Mpa 65L/min | |
紫外線照度 | 9mW/cm2以上 | |
氮氣 | 0.4-0.5Mpa 100L/min | |
電源供應 | AC100V 50 / 60Hz 30A |
黑光規格全自動紫外線照射器是一種自動取出盒提供的晶圓框架,
用紫外線照射并儲存的設備。劃片后,進行紫外線照射,便于拾取,降低了膠帶的粘合強度。
通過自動設置更改支持 8 英寸和 12 英寸晶圓框架。
每個盒子都可以進行全自動照射。
旋轉轉盤可實現均勻一致的紫外線照射。
各種紫外線照射條件(時間設置或綜合光強度設置)
紫外線照度實時顯示在觸摸屏上。
由于黑光規格,功耗低。
兼容 8 英寸 / 12 英寸磁帶。(可以從觸摸面板自動更改設置)
尺寸 | W770 x D1090 x H1200(毫米) | |
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重量 | 約 250 公斤 | |
驅動空氣 | 0.4~0.5Mpa 65L/min | |
紫外線照度 | 9mW/cm2以上 | |
氮氣 | 0.4-0.5Mpa 100L/min | |
電源供應 | AC100V 50 / 60Hz 30A |