尺寸 | W770 x D1090 x H1200(毫米) | |
---|---|---|
重量 | 約 250 公斤 | |
驅(qū)動(dòng)空氣 | 0.4~0.5Mpa 65L/min | |
紫外線照度 | 9mW/cm2以上 | |
氮?dú)?/span> | 0.4-0.5Mpa 100L/min | |
電源供應(yīng) | AC100V 50 / 60Hz 30A |
黑光規(guī)格全自動(dòng)紫外線照射器是一種自動(dòng)取出盒提供的晶圓框架,
用紫外線照射并儲(chǔ)存的設(shè)備。劃片后,進(jìn)行紫外線照射,便于拾取,降低了膠帶的粘合強(qiáng)度。
通過自動(dòng)設(shè)置更改支持 8 英寸和 12 英寸晶圓框架。
每個(gè)盒子都可以進(jìn)行全自動(dòng)照射。
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可實(shí)現(xiàn)均勻一致的紫外線照射。
各種紫外線照射條件(時(shí)間設(shè)置或綜合光強(qiáng)度設(shè)置)
紫外線照度實(shí)時(shí)顯示在觸摸屏上。
由于黑光規(guī)格,功耗低。
兼容 8 英寸 / 12 英寸磁帶。(可以從觸摸面板自動(dòng)更改設(shè)置)
尺寸 | W770 x D1090 x H1200(毫米) | |
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重量 | 約 250 公斤 | |
驅(qū)動(dòng)空氣 | 0.4~0.5Mpa 65L/min | |
紫外線照度 | 9mW/cm2以上 | |
氮?dú)?/span> | 0.4-0.5Mpa 100L/min | |
電源供應(yīng) | AC100V 50 / 60Hz 30A |