深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
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推薦產(chǎn)品?????
商品描述
落地式
1 升降臺(tái)
用于一個(gè)不同晶圓盒移載
規(guī)格
| 模型 | OTS-15  （獨(dú)立式） | OTD-25  （桌面型） | OTD-35  （桌面型） |
|---|---|---|---|
| 級(jí)數(shù) | I 階段 （盒式磁帶 x 1） | Ⅱ階段 （卡帶 x 1，船 x 1） | Ⅲ階段 （卡帶 x 2，船 x 1） |
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 電機(jī)驅(qū)動(dòng)（伺服） | ||
| 傳輸格式 | 1ca 在不同類型的卡帶之間傳輸 | 1ca 到 1bt 雙向傳輸 | 2ca 到 1bt 雙向傳輸 |
| 轉(zhuǎn)載 速度 | 最少 40 秒 + 磁帶更換時(shí)間 | 最少 50 秒（可調(diào)） | 最少 90 秒（可調(diào)） |
| 設(shè)備尺寸 | W400 × D510 × H1187 (mm) | W433 x D490 x H625（毫米） | W629 x D490 x H625（毫米） |
| 安全機(jī)制 | 有無卡匣、有無晶圓、過載檢測、異常報(bào)警、緊急停止 | ||
| 電源供應(yīng) | AC200V (50 / 60Hz) | ||
