落地式
1 升降臺
用于一個不同晶圓盒移載
模型 | OTS-15 (獨立式) | OTD-25 (桌面型) | OTD-35 (桌面型) |
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級數(shù) | I 階段 (盒式磁帶 x 1) | Ⅱ階段 (卡帶 x 1,船 x 1) | Ⅲ階段 (卡帶 x 2,船 x 1) |
驅(qū)動系統(tǒng) | 電機驅(qū)動(伺服) | ||
傳輸格式 | 1ca 在不同類型的卡帶之間傳輸 | 1ca 到 1bt 雙向傳輸 | 2ca 到 1bt 雙向傳輸 |
轉(zhuǎn)載 速度 | 最少 40 秒 + 磁帶更換時間 | 最少 50 秒(可調(diào)) | 最少 90 秒(可調(diào)) |
設(shè)備尺寸 | W400 × D510 × H1187 (mm) | W433 x D490 x H625(毫米) | W629 x D490 x H625(毫米) |
安全機制 | 有無卡匣、有無晶圓、過載檢測、異常報警、緊急停止 | ||
電源供應(yīng) | AC200V (50 / 60Hz) |