深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
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商品描述
桌面式
2 升降臺
1 晶圓盒到 1 晶舟盒的雙向傳輸
規格
| 模型 | OTS-15  （獨立式） | OTD-25  （桌面型） | OTD-35  （桌面型） |
|---|---|---|---|
| 級數 | I 階段 （盒式磁帶 x 1） | Ⅱ階段 （卡帶 x 1，船 x 1） | Ⅲ階段 （卡帶 x 2，船 x 1） |
| 驅動系統 | 電機驅動（伺服） | ||
| 傳輸格式 | 1ca 在不同類型的卡帶之間傳輸 | 1ca 到 1bt 雙向傳輸 | 2ca 到 1bt 雙向傳輸 |
| 轉載 速度 | 最少 40 秒 + 磁帶更換時間 | 最少 50 秒（可調） | 最少 90 秒（可調） |
| 設備尺寸 | W400 × D510 × H1187 (mm) | W433 x D490 x H625（毫米） | W629 x D490 x H625（毫米） |
| 安全機制 | 有無卡匣、有無晶圓、過載檢測、異常報警、緊急停止 | ||
| 電源供應 | AC200V (50 / 60Hz) | ||
