| 模型 | 全自動  | 半自動/手動  | ||
|---|---|---|---|---|
轉速 _ | 2-6英寸 | 最長 1,000 分鐘-1 | ||
| 8 英寸 | ||||
| 12英寸 | 最長 700 分鐘-1 | |||
設備尺寸 | 2-6英寸 | 750 x 1350 x 1100 (毫米) | 750 x 1430 x 1100 (毫米) | |
| 8 英寸 | 850 x 1450 x 1150 (毫米) | 850 x 1530 x 1150 (毫米) | ||
| 12英寸 | 1050 x 1700 x 1170 (毫米) | 1050 x 1780 x 1170 (毫米) | ||
深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
推薦產品?????
商品描述
獨立旋轉干燥機（晶圓離心干燥機）
最大晶圓尺寸：12英寸
氣流的流動效率更高，下流導致的干燥度也得到了改善。結果，進一步縮短了干燥時間。
徹底消除了粉塵產生因素。請參閱粒子評估結果。
機身的設計理念是“不振動的甩干機”。它提供由專有振動分析技術支持的高質量旋轉性能。
采用獨創的自動振動抑制機構（自動平衡器FAB）和晶圓裂紋自動檢測機構等選件，使用更加方便。
我們在硅和基板以外的材料方面取得了各種成就。
選項
自動平衡調整裝置
通過在旋轉干燥機的旋轉部安裝利用長年培育的振動分析技術開發的旋轉干燥機自動平衡裝置，即使晶圓片數設置不均、旋轉也能自動抑制振動。設備。
特別是在因晶片種類不同而重量不同的情況下，或者裝載的晶片數量不斷變化的情況下，效果顯著。
推薦用于您想要消除振動的情況，盡管重量或晶片數量沒有太大差異，或者由于使用不同英寸尺寸的晶片而發生振動。
ULPA. 帶離子發生器的滑動開/關蓋 [高通量]
由于蓋子是滑動式的，機器人可以在設備上自由移動，時間大大縮短，包括打開和關閉蓋子所需的時間。
?縮短蓋子的打開和關閉時間
?機器人的移動空間幾乎沒有限制
?在開口的正上方站立，可以在打開蓋子的同時裝載晶片
規格
| 姓名 | 回轉式下流式旋轉干燥機 | |
|---|---|---|
| 目標工作 | 2-12英寸 | |
| 電源供應 | AC200V (50 / 60Hz) | |
| 軸封 | 防塵密封和強制吸風組合使用 | |
| 搖籃 | 可安裝2個或4個 | |
| 速度設定 | 一檔、二檔 | |
| 材料 | 轉盤和支架均為SUS316L（EP） | |
| 外部的 | PVC | |
| 安全機制 | 異常振動自動停止 防止過載運行 | |
| 上升時間 | 12in ... 30 秒內 / 8in 或更少 ... 25 秒內 | |
