| 模型 | 全自動(dòng)  | 半自動(dòng)/手動(dòng)  | ||
|---|---|---|---|---|
轉(zhuǎn)速 _ | 2-6英寸 | 最長(zhǎng) 1,000 分鐘-1 | ||
| 8 英寸 | ||||
| 12英寸 | 最長(zhǎng) 700 分鐘-1 | |||
設(shè)備尺寸 | 2-6英寸 | 750 x 1350 x 1100 (毫米) | 750 x 1430 x 1100 (毫米) | |
| 8 英寸 | 850 x 1450 x 1150 (毫米) | 850 x 1530 x 1150 (毫米) | ||
| 12英寸 | 1050 x 1700 x 1170 (毫米) | 1050 x 1780 x 1170 (毫米) | ||
深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
當(dāng)前位置：?
推薦產(chǎn)品?????
商品描述
獨(dú)立旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)（晶圓離心干燥機(jī)）
最大晶圓尺寸：12英寸
氣流的流動(dòng)效率更高，下流導(dǎo)致的干燥度也得到了改善。結(jié)果，進(jìn)一步縮短了干燥時(shí)間。
徹底消除了粉塵產(chǎn)生因素。請(qǐng)參閱粒子評(píng)估結(jié)果。
機(jī)身的設(shè)計(jì)理念是“不振動(dòng)的甩干機(jī)”。它提供由專有振動(dòng)分析技術(shù)支持的高質(zhì)量旋轉(zhuǎn)性能。
采用獨(dú)創(chuàng)的自動(dòng)振動(dòng)抑制機(jī)構(gòu)（自動(dòng)平衡器FAB）和晶圓裂紋自動(dòng)檢測(cè)機(jī)構(gòu)等選件，使用更加方便。
我們?cè)诠韬突逡酝獾牟牧戏矫嫒〉昧烁鞣N成就。
選項(xiàng)
自動(dòng)平衡調(diào)整裝置
通過(guò)在旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)的旋轉(zhuǎn)部安裝利用長(zhǎng)年培育的振動(dòng)分析技術(shù)開發(fā)的旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)自動(dòng)平衡裝置，即使晶圓片數(shù)設(shè)置不均、旋轉(zhuǎn)也能自動(dòng)抑制振動(dòng)。設(shè)備。
特別是在因晶片種類不同而重量不同的情況下，或者裝載的晶片數(shù)量不斷變化的情況下，效果顯著。
推薦用于您想要消除振動(dòng)的情況，盡管重量或晶片數(shù)量沒(méi)有太大差異，或者由于使用不同英寸尺寸的晶片而發(fā)生振動(dòng)。
ULPA. 帶離子發(fā)生器的滑動(dòng)開/關(guān)蓋 [高通量]
由于蓋子是滑動(dòng)式的，機(jī)器人可以在設(shè)備上自由移動(dòng)，時(shí)間大大縮短，包括打開和關(guān)閉蓋子所需的時(shí)間。
?縮短蓋子的打開和關(guān)閉時(shí)間
?機(jī)器人的移動(dòng)空間幾乎沒(méi)有限制
?在開口的正上方站立，可以在打開蓋子的同時(shí)裝載晶片
規(guī)格
| 姓名 | 回轉(zhuǎn)式下流式旋轉(zhuǎn)干燥機(jī) | |
|---|---|---|
| 目標(biāo)工作 | 2-12英寸 | |
| 電源供應(yīng) | AC200V (50 / 60Hz) | |
| 軸封 | 防塵密封和強(qiáng)制吸風(fēng)組合使用 | |
| 搖籃 | 可安裝2個(gè)或4個(gè) | |
| 速度設(shè)定 | 一檔、二檔 | |
| 材料 | 轉(zhuǎn)盤和支架均為SUS316L（EP） | |
| 外部的 | PVC | |
| 安全機(jī)制 | 異常振動(dòng)自動(dòng)停止 防止過(guò)載運(yùn)行 | |
| 上升時(shí)間 | 12in ... 30 秒內(nèi) / 8in 或更少 ... 25 秒內(nèi) | |
