深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
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商品描述
適用于半自動切割機上切割、開槽后的工件的清洗和干燥。
二流體清洗、擺動式清洗噴嘴范圍可以和晶圓尺寸配合實現優異的清洗效果。
最大可對應12英寸框架。
特征
清洗臺盤最大轉速: 3,000 min-1
■可對應的框架尺寸: 5-12英寸 (ACCRETECH標準框架)
■清洗方法：二流體、沖洗水、干燥空氣 (擺臂驅動）
■選配項：高壓水清洗
規格
| 框架尺寸 | Φ5" to Φ12" (ACCRETECH 標準框架) | |||||
| 清洗臺盤轉速 | 30 到 3000 min-1 | |||||
| 二流體清洗 | 純水 (0.3 MPa, 0.2 L/min) + 干燥空氣 (0.4 MPa, 100 L/min) | |||||
| 沖洗水壓力 | 小于 0.4 MPa | |||||
| 干燥空氣壓力 | 小于0.7 MPa | |||||
| 電源 | 3相 AC 200V 50 - 60 Hz | |||||
| 消耗功率 | 3 kVA (Max.) | |||||
| 壓縮空氣 | 0.5 - 0.7 MPa, 200 NL/min (ANR) | |||||
| 清洗水 | 0.2 -0.5 MPa, 2 L/min | |||||
| 尺寸 | 490W x 650D x 1400H mm | |||||
| 重量 | 160 kg | |||||
