可以在不吸附圖案表面的情況下進行粘貼。
我們提出了一種粘貼方法,可防止因吸附造成的損壞,并考慮到超薄晶圓和 MEMS 等精密晶圓。
不同尺寸的非接觸對齊
矯正器使用我們獨創的非接觸式方法。通過僅在外周吸附幾毫米進行對準,無需擔心產品區域的吸痕、顆粒粘附和邊緣夾緊導致的邊緣崩邊。
非接觸式運輸也是可能的。可安裝外周吸力手、伯努利手等各種手。即使對于有翹曲或撓曲的晶片,我們也會驗證轉移方法并提出建議。
粘貼
我們提出了一種獨特的應用程序,該應用程序可以最大限度地減少膠帶的消耗,
并抑制由于框架和刀具之間的接觸而在切割框架(膠帶框架)上產生劃痕和金屬粉末的產生。
此外,可選配的真空貼附可實現對近年來在 IGBT 中備受關注的 TAIKO
晶片等有臺階和凹凸的晶片進行貼合,以及對 MEMS 晶片和薄晶片等易碎晶片進行低張力貼合。