深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
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商品描述
12英寸全自動切割機。在晶圓搬送和框架搬送間自動切換，減少了切換過程中的風險，機器停機時間也大大減少。
特征
WH/FH 自動切換
晶圓搬送和框架搬送可自動切換, 減少了切換中的風險, 使得機器停機時間大大減少
標準搭載FOUP opener
自動化操作從而減少了晶圓破損的風險,
封閉式的FOUP 降低lot 處理中的環境污染的風險
標準搭載非接觸式工件厚度感應器
搭載air micro 感應器, 可測定工件等的厚度
選配單元的小型化, 內部設計的優化, 使得主要選配單元內藏成為可能。
標準搭載6 萬轉的主軸
（8 萬轉選配可對應）
加工效率向上
① X 軸速度1000 mm/s, Y 軸速度300 mm/s, Z 軸速度80 mm/s
?搭載2 個光學式測高單元
③世界最小刀片間距
17 英寸觸摸屏+ 新GUI
搭載了GUI( 用戶操作界面） 易于觀察的畫面和大型的按鈕, 在增強操作性的同時, 采用了對話式的容易理解的輸入方式
搭載了無需復雜的參數設定的刀痕檢查功能
（AI 刀痕檢查功能）
硬盤內可存儲和管理10000 個以上的加工參數
標準搭載USB 接口
（可以使用USB 等外部存儲設備）
切割臺盤面內補正功能 （Active-Z）
對切割臺盤面內的不平整進行補正， 實現高精度的切割高度控制
規格
| Max. work size | Φ 305 mm | ||||||||||||||||||||
| Max. number of frames | 12 inch (SEMI G74-0699) | ||||||||||||||||||||
| Spindle | Rotation | 60,000 min-1 | |||||||||||||||||||
| OP：80,000 min-1 | |||||||||||||||||||||
| Max. blade diameter | Φ 60 mm (2-Inch) | ||||||||||||||||||||
| Rated Output | 1.8 KW | ||||||||||||||||||||
| X axis | Available cutting range | 310 mm | |||||||||||||||||||
| Max. Speed | 1000 mm/s | ||||||||||||||||||||
| Y1/Y2 axes | Available cutting range | 310 mm | |||||||||||||||||||
| Max. Speed | 300 mm/s | ||||||||||||||||||||
| Resolution | 0.078 μm | ||||||||||||||||||||
| Accuracy | 0.002 mm / 310 mm | ||||||||||||||||||||
| Z1/Z2 axes | Stroke | 34 mm | |||||||||||||||||||
| Resolution | 0.002 μm | ||||||||||||||||||||
| Max. Speed | 80 mm/sec | ||||||||||||||||||||
| Repeatability | 0.001 mm | ||||||||||||||||||||
| θ axis | Range of rotation | 380° | |||||||||||||||||||
| Misc | Voltage | 3 Phase AC200 to 220 V ±10 ％ (Transformer adoptable) | |||||||||||||||||||
| Power consumption | 6.0 kVA (MAX) | ||||||||||||||||||||
| Air pressure | 0.55 ～ 0.7 MPa | ||||||||||||||||||||
| Avg. Air consumption | 210 L/min (0.55 MPa) | ||||||||||||||||||||
| Avg. Clean Air consumption | 140 L/min | ||||||||||||||||||||
| Cutting Water, and others (pressure) | 0.3 ～ 0.5 MPa | ||||||||||||||||||||
| Cutting Water, and others (Max Flow) | Cutting Water:10.0 L/min Water curtain: 3. 0 L/min Others: 0.6 L/min | ||||||||||||||||||||
| Cooling Water (pressure) | 0.3 ～ 0.5 MPa | ||||||||||||||||||||
| Cooling Water (Max Flow) | 3.4 L/min (0.3 MPa) | ||||||||||||||||||||
| Exhaust | 5.0 m3/ min more | ||||||||||||||||||||
| Size (W*D*H) | 1290 mm x 1530 mm x 1900 mm | ||||||||||||||||||||
| Weight | 1330 kg | ||||||||||||||||||||
