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抗蝕劑、聚酰亞胺和摻雜劑的全自動 C 到 C 應用 / 烘烤
與晶圓尺寸相匹配的緊湊型外殼

無需更改設置即可處理多種尺寸的晶圓。

從低粘度到高粘度的豐富支持。

支持200μm以上翹曲的輸送系統

COO減少和定制支持通過各種選項菜單實現。

高規格

高規格處理量：1000張/天以上
設備尺寸：大型
機器人：2臺或自走式

標準

標準處理量：500張/天以上

設備尺寸：中型
機器人：1臺

研發

研發處理量：100張/天或更多

設備尺寸：小型
機器人：無