深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
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商品描述
完全非接觸式的平行曝光
以高精度雷射變位計進行平行度調整，調因為是非接觸式進行曝光所以不會造成光罩的損傷
省空間維護簡單
使用小型 Robot ，實現 1m×1m 的省空間規格。另外，因採用為 CentreRobot 的 Layout ， 所以能簡單進行維護
自動alignment
使用具有高度信賴性的FAST社製畫像處理技術，達成高精度的自動 alignment
C to C自動批量曝光掩模對準裝置。
間隙管理完全不與掩模接觸。
當然也支持軟硬接觸！
實現低成本、緊湊和自動對齊。
三大特點
1完全非接觸式
平行曝光&曝光使用高精度激光位移計
調整平行度
，原樣進行非接觸式曝光，
不會損壞掩模！2節省空間且
易于維護使用小型機器人
實現 1m x 1m 的空間節省。
此外，采用中心機器人
布局，便于
維護。3自動對齊通過可靠的
FAST 圖像處理
可以實現高精度的自動對齊！
