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深圳高卓斯科技有限公司

SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.

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OVM系列
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OVM系列

這是一種利用高真空進(jìn)行無(wú)壓式的晶圓貼膜設(shè)備。
簡(jiǎn)單進(jìn)行放置晶圓和已貼好膠帶的切割環(huán)，操作按鍵即可進(jìn)行自動(dòng)貼膜。

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商品描述

這是一種利用高真空進(jìn)行無(wú)壓式的晶圓貼膜設(shè)備。
簡(jiǎn)單進(jìn)行放置晶圓和已貼好膠帶的切割環(huán)，操作按鍵即可進(jìn)行自動(dòng)貼膜。

特性

氣泡處理

真空貼膜方法可以防止晶圓與膜帶之間產(chǎn)生氣泡，經(jīng)過(guò)真空處理后，使用在后續(xù)的紫外照射固化中防止氧化和氣泡膨脹。


非接觸式貼膜（無(wú)滾壓）

采用無(wú)接觸差壓貼膜系統(tǒng)，不使用滾輪。與滾筒系統(tǒng)相比，對(duì)產(chǎn)品表面無(wú)損傷。


支持多種類(lèi)型晶圓和尺寸

在單個(gè)設(shè)備中支持從2英寸到8英寸的晶圓尺寸。對(duì)于傳統(tǒng)式的滾筒造成困難的貼膜非常有效，如MEMS晶圓、Taiko wafer、陶瓷、玻璃、基片和薄膜等。


規(guī)格



8英寸12英寸
尺寸W500 x D770 x H1010 (mm)W613 x D873 x H1035 (mm)
重量約 110 公斤約 150 公斤
程序從 10 種類(lèi)型中選擇從 10 種類(lèi)型中選擇
應(yīng)用工件2inch to 8inch Wafer, substrate, etc.8inch .12inch Wafer, board, etc.
5inch to 8inch dicing frame8inch   .12inch dicing frame
對(duì)應(yīng)膠帶各種膠帶各種膠帶
真空源干泵干泵
壓縮空氣0.5Mpa以上150L/min(ANR)0.5Mpa以上150L/min(ANR)
電源AC200V 50 / 60Hz 15A（三相）AC200V 50 / 60Hz 15A（三相）



獲取產(chǎn)品詳細(xì)資料