特征
幀反轉(zhuǎn)功能（向下擴展）
將膨脹過程中產(chǎn)生的碎屑向下滴落，并抑制膨脹后對芯片的粘附。
高精度擴展臺
通過電機控制實現(xiàn)高精度的磁帶擴展，實現(xiàn)更均勻和連續(xù)的擴展。
? 平臺行程 0 至 50 mm
? 膨脹速度 0.1 mm / sec ~
可設(shè)置 可設(shè)置低行程膨脹和低速膨脹等廣泛的膨脹配方。（* 專利申請中）
靜電消除吹氣功能
膨脹過程中的工件用離子發(fā)生器的靜電消除空氣進(jìn)行清潔。有效防止顆粒粘附。
舞臺溫度控制功能
配備可設(shè)置為 MAX 100°C 的載物臺。
